项目简介：

中国科学院微电子研究所射频电源课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）的资金支持下，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管RFG系列射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。

经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。

中科院RFG系列射频电源具有：

1.控制方式更灵活：全数字面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制

2.使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高

3.真彩色大屏幕液晶显示正向功率反向功率

4.最低可实现1W的稳定功率输出

5.开机无需预热

6.具有外部时钟同步(CEX)功能，可同步多台电源并克服之间的相互干扰