成果简介

本成果采用多光束激光干涉原理，实现在材料表面制造微纳表面结构，周期从微 米级到纳米级连续可控。结合高精度位移控制技术，该系统具有实现大面积周期性微 纳结构加工制造的能力。

主要技术指标

激光波长：1064nm、532nm、355nm、266nm； 峰值功率：＞200mW； 结构周期：200nm～20μm； 最高加工效率：

2

3cm /min。

应用范围

主要用于太阳能电池表面减反结构加工，制造新型光电探测器、光电传感器以及 大面积光栅等功能性结构材料和器件。