成果简介 建立极紫外光源实验研究系统，利用纳米粒子掺杂玻璃靶在6.7nm附近获得窄极紫 外光谱辐射，对提高极紫外多层膜反射镜收集带内光辐射效率以及减小光源对多层膜 有害的离带辐射等方面有着重要的意义。获得Gd靶极紫外光源离子碎屑特性，对进一 步发展光源碎屑阻挡技术、建立清洁的光源打下了坚实的基础。成功研制Gd低密度靶

6.7nm极紫外光源，使长春理工大学成为世界上仅有的几家掌握6.7nm光源技术单位之 一；使我国在该领域有望打破目前极紫外工业化光源均由国外几家大公司垄断的局 面，为突破极紫外光源的核心关键技术打下坚实的基础。

主要技术指标

使用Gd2O3纳米粒子掺杂的玻璃靶（低密度Gd靶），获得的6.7nm附近辐射光谱宽 度为Gd金属靶的五分之二左右。此外，采用双脉冲激光打靶减缓光源碎屑，是单脉冲 作用下离子碎屑动能的1/18。

应用范围

可应用于极紫外显微术，可对纳米尺度的微小结构进行高分辨率成像、材料的光 谱分析等领域，也可应用于微纳米结构的加工、制造业中。