一、成果名称：空间调制傅里叶变换红外光谱仪技术

二、成果简介与比较优势：

  为了解决经典色散原理的微小光谱仪在采样过程中的能量损失较大、光通量较小、对光源的微弱辐射光利用率不高、信噪比较低的问题，并且解决时间调制傅立叶变换光谱仪由高精度动镜驱动系统造成的加工装调难、系统重复性差、可靠性差、实时性较差等问题，使傅里叶变换红外光谱仪尽早实现微辐射光源、宽光谱范围、高精度、高光通量、高信噪比、高可靠性和实时性的测量，本项目研发了一种空间调制傅里叶变换红外光谱仪技术，该光谱仪取消了动镜驱动机构与采样控制机构，具有微小型与轻量化的特点；其干涉图的采样由多级微反射镜完成，其空间采样的方式增加了系统的稳定性与可靠性，实时采样的特点增加了系统的快速性与有效性；并且，多级微反射镜阵列采用 MOEMS 工艺技术制作，增加了系统的采样精度。对 3-5μm 和8-12μm 的红外宽光谱探测范围的探测可以满足 COX、SO2、NOX、H2S 或有毒有害的有机物(VOC)和多环芳烃（PAHS）等众多重要化学物质成分光谱分析的需要。该光谱仪系统的结构及制作方法具有自主知识产权，并具有广阔的应用前景。

三、知识产权状况：

  申请国家发明专利 31 项，其中授权国家发明专利 17 项。

四、经济效益分析：

  1.目标市场、市场规模等目标市场主要面向环境和安全监测、医疗分析检测、空间探测、气象、军事分析以及反恐防化等领域，市场规模预计 100 台套/年。

  2.市场竞争预测（其他同类产品情况、其他公司情况）空间调制傅里叶变换红外光谱仪具有体积小、重量轻、可靠性高、分析速度快的优点，具有明显的竞争优势。

  3.本项目核心竞争优势与传统的时间调制微型傅里叶变换光谱仪相比，本系统采用静态结构，不需要时间调制型光谱仪必需的高精度动镜驱动系统，解决了时间调制型光谱仪因含有运动部件而存在的系统加工和装调困难、系统的重复性和可靠性难以保证以及系统的实时性差的问题，有利于实现固态化以及轻量化。