项目简介：真空用的小型精密工件台系统采用压电电机驱动，高精度光栅测量系统实现在真空环境下微米级精度的运动控制。

产品性能：(1) 工件台移动范围：50mm×50mm；(2) 光栅测量系统20nm测量分辨率；(3)水平方向上的直线度为：1μm；(4)x向与y向的垂直度3μm；(5)最大速度：250mm/s；(6)步进距离：10μm/120ms；(7)最小步进距离：20nm；(8) 真空环境：1*10-3Pa

应用行业：电子与信息

产业化前景分析:基于扫描电子显微镜的电子束曝光装置的改造。

应用范围：本装置可用于高精度测量、加工，如电子束曝光实验装置。