一、成果名称：直接激光干涉微纳制造系统

二 、成果简介：

  本成果采用多光束激光干涉原理，实现在材料表面制造微纳表面结构，周期从微米级到纳米级连续可控。结合高精度位移控制技术，该系统具有实现大面积周期性微纳结构加工制造的能力。

三、主要技术指标：

  激光波长：1064nm、532nm、355nm、266nm；

  峰值功率：＞200mW；

  结构周期：200nm～20um；

  最高加工效率：3 cm²/min。

四、应用范围：

  主要用于太阳能电池表面减反结构加工，制造新型光电探测器、光电传感器以及大面积光栅等功能性结构材料和器件。