一、成果名称：微小零件表面三维形貌快速非接触检测系统

二 、成果简介：

  本成果采用图像显微成像方法，对微小零件表面三维形貌非接触重构，完成对零件表面二维、三维信息提取及粗糙度参数测量，解决了目前微制造测量领域中三维非接触检测的问题，可实现在线表面微尺度下形貌快速检测、宏尺度表面粗糙形貌分析等。实现，，在精密微制造装备中进行集成使用，提高微小零件精密微加工精度。

三、主要技术指标：

  最小检测分辨力 0.5m；

  检测范围 10x10mm；

  光学放大倍率 20～80x 。

四、应用范围：

  该项成果可用于微加工在线测量、半导体元件制造、生物制造等领域。