成果简介

本成果采用图像显微成像方法，对微 小零件表面三维形貌非接触重构，完成对 零件表面二维、三维信息提取及粗糙度参 数测量，解决了目前微制造测量领域中三 维非接触检测的问题，可实现在线表面微 尺度下形貌快速检测、宏尺度表面粗糙形 貌分析等。实现，，在精密微制造装备中 进行集成使用，提高微小零件精密微加工 精度。

主要技术指标

最小检测分辨力 0.5mm； 检测范围 10´10mm； 光学放大倍率 20～80 x。

应用范围

该项成果可用于微加工在线测量、半导体元件制造、生物制造等领域。