项目简介：在新品、所创新等项目资助下，中科院电子所开展了电磁激励/磁感应检测、静电激励/电容检测两种振动环式微机械陀螺仪的研制，突破了传感器理论建模、结构设计与优化、MEMS加工、检测电路等关键技术，研制出陀螺仪工程样机，完成监督检测和设计定型，并交付用户试用。

产品性能：测量范围：±200o/s； 分辨率：0.005 o/s； 零位漂移：0.01 o/s； 非线性度：0.1%; 冲击过载能力：10000g； 温度范围：-40-70 oC。 

应用行业：电子与信息