项目简介：用于精密测量光学平面度。 技术指标： 1)工作直径D=146毫米 2)第一标准平面不平度小于0.02微米 3)第二标准平面不平度小于0.03微米 4)准直系统：孔径F/2.8，焦距F=400毫米 5)测微目镜：焦距F=16.7毫米 6)视场角2ω=40度，放大倍数β=15X 7)成像物镜D=7，F=16 8)光源规格：激光ZN18(He-Ne)

应用行业：电子与信息,光机电一体化