项目简介：MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

产品性能：目前研究所研究的MEMS器件有：高空间分辨、高灵敏的AFM探针、用于癌症早诊的新型生化传感器、高性能射频MEMS振荡器、MEMS压阻式压力传感器、MEMS惯性传感器等。

应用行业：电子与信息,生物、医药技术,光机电一体化

专利情况：已有专利10个

应用范围：1、高空间分辨、高灵敏的AFM探针应用于扫描探针显微镜系统。 2、新型生化传感器应用于癌症早期诊断。 3、高性能射频MEMS振荡器应用于微电子领域的时钟市场。 4、MEMS压阻式压力传感器可用于汽车用压力传感器中刹车系统空气压力传感器、发动机进气歧管压力传感器等，生物医学用呼吸器、血压计等，工业自动化控制与测量用压力表、压力计、高度计等。 5、MEMS惯性传感器可应用于陀螺仪和加速度计。