项目简介：在国家自然科学基金、院地球物理仪器研制专项、国土资源部行业专项、科技部仪器研制专项子任务、863计划等项目资助下，中科院电子所率先于2009年开展MEMS电化学地震检波器的研究，先后研制出基于叠层电极和平面电极的两种MEMS电化学地震检波器，突破了传感器理论建模与计算、结构设计与仿真、MEMS加工与封装、检测电路、频带补偿电路等一系列关键技术，实现了叠层电极的MEMS电化学地震检波器小批量试生产，开展了地震台站长期监测和野外天然微震对比测试等系列实验。

产品性能：叠层电极MEMS电化学地震检波器 3dB通频带范围：1Hz-80Hz，20s-20Hz，30s-20Hz 动态范围：120dB 功耗：单轴<50mW

  应用行业：电子与信息    专利情况 :已有专利4个

产业化前景分析:电化学地震检波器具有良好的低频性能，特别适合海底地震仪等海洋地球物理勘探的应用场景。目前我国在建立海底观测网，其需求量巨大。另外，电化学地震检波器还在油气资源勘探、海底水听器、建筑桥梁安全监测等领域有着潜在的应用。 目前电化学地震检波器均为进口，仅有美国和俄罗斯两家公司有售。我们研制开发的MEMS电化学地震检波器，是国际上首次采用MEMS技术研制而成的电化学地震检波器，具有独立的知识产权，产业化潜力大。

应用范围：主要应用于石油天然气资源勘探、海底地震仪（OBS）、尾矿库监测、地质灾害监测、建筑物监测、水听器等领域的低频段高灵敏度的振（震）动监测。

经济效益分析：随着对油气资源勘探、海底地球物理探测等的推进，低频段、高灵敏MEMS电化学地震检波器的应用越来越广泛。目前该市场由国外公司垄断，单套售价在5万元以上。通过研发出具有自主知识产权的产品，可以替代国外产品，占领国内市场，在海底地震仪、油气资源勘探等有着巨大的经济效益。