成果简介 本项目组开发了仪器功能设计与关键件结构设计、强度设计与精度设计 等多因素耦合设计理论方法，仪器与扫描电镜、X 射线衍射仪、金相显微镜 等装置的结构兼容性、电磁兼容性以及真空兼容性设计分析与保障的关键共 性技术，仪器中力学信号、变形/位移信号的检测、误差补偿和闭环控制理 论与关键技术，仪器关键机械元件的智能精密制造方法与关键共性技术，仪 器综合性能分析与可靠性保障等关键共性技术。在此基础上，研发团队成功 开发了压痕/划痕、拉伸、弯曲、剪切、扭转和复合载荷模式等6大类17台套 材料微观力学性能原位测试仪器，开发了独立完备的配套分析处理软件及其 检测控制系统，实现了我国相关领域仪器零的突破，部分类型仪器为国际首 创。针对仪器精度标定校准的问题，研发团队还提出了一系列仪器精度标定 校准的理论和方法，并验证了这些理论方法的有效性。 研究团队 机械科学与工程学院赵宏 伟教授研发团队。 成果成熟度 小批量。 应用领域及市场前景 针对高端装备制造和工业仪器仪表对位置、压力、温度、形貌等基本物 理量精准测量的需求，研制高精度压力传感器、时栅位移传感器、光纤传 感器、工业型扫描探针显微测试系统、面向航空数字化制造的跨尺度精密测 量系统、跨尺度原位力学测试仪器等先进传感器核心部件和系统成为当前研 究重点；本项目在解决测试仪器装备功能与关键微小机械元件结构可靠性设 计、面向产业化的仪器误差补偿和闭环控制、关键元件的智能精密制造以及 综合性能评测等领域存在广泛的应用前景。 合作方式 技术许可。