成果简介：

  本发明属于集成电路故障诊断的直接探测法领域，具体是涉及一种新型的基于流体态电光材料的电场探测技术。电光探测技术是利用激光获取集成电路表面电场信号，从而实现对电路动态实时无侵扰测量的技术。然而，较低的电压灵敏度一直是阻碍电光检测技术实用化进程的重要问题。本发明利用流体态的电光材料作为电信号转化为光信号的媒介。一方面解决了传统的固体探头与被测电路之间不可避免存在空气隙的问题，因此降低了电光转化损耗，提高电场测量的灵敏度；另一方面由于电光材料的可转动的特性，电光分子在电场作用下的取向效应从本质上提高了电场测量的灵敏度。

应用领域及市场前景：

  随着集成电路制造业的发展，芯片的集成度越来越高，运行速率越来越快，门限电压越来越低，对集成电路测试特别是故障诊断提出了严峻的挑战。本成果可以实现集成电路故障的高灵敏、无侵扰探测，对提高集成电路可靠性由重要意义。