项目简介：

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室经过5年多的努力，率先在国际上研制出MEMS电化学地震检波器工程样机，突破了传感器结构设计、批量化微结构MEMS加工、芯片组装和器件、反馈控制系统、检测电路等关键技术，申请国家发明专利5项，获授权3项，拥有全部自主知识产权。

所研制的传感器已实现小批量制造，并在中科院地球所、吉林大学、北京市水电物探研究所等多个单位进行野外试验。第三方专业测试机构测试指标如下：频带范围：0.016Hz-20Hz（可扩展和选频）；动态范围：120dB；功耗：<15mW。

MEMS电化学地震检波器在低频振动检测方面有着绝对优势，相比传统地震检波器，其低频检测范围可达120s（0.008Hz）甚至更低，动态范围宽，低频噪声低。

因此，MEMS电化学地震检波器可应用于海底地震仪（OBS）、地球物理勘探、资源勘探、水文地质勘探等低频振动的监测应用，还可以应用于地震监测、海底军事目标如潜艇探测等。