成果简介

激光损伤阈值是评价光学薄膜抗激光性能的重要参数，光学薄膜抗激光损伤能力 是限制高功率/能量激光应用系统发展的瓶颈。对光学薄膜抗激光损伤能力的定量评价 和精确测量是制备抗损伤阈值光学薄膜的前提。 光学薄膜激光损伤阈值测量仪主要由激光器、光束整形单元、能量调节单元、能 量密度标定单元、薄膜损伤判识单元、聚焦分光单元、运动工作台及控制系统等组 成。该成果基于光强分布均匀的平顶光束诱导薄膜损伤，客观准确地反映了薄膜的损 伤阈值，测量精度高，测量速度快，自动化程度高，操作简单。

主要技术指标

测试波长：1064nm/532nm/355nm； 测量范围

2

: 0-50J/cm ； 测量不确定度：≤±5%。

应用范围

薄膜激光损伤阈值测量仪主要应用于各种光学薄膜和光学元件抗激光损伤能力测 试，还可以应用于半导体激光器、激光应用、太阳能电池及各种光电探测器件等抗强 光损伤能力测试。