成果简介

本产品为一款高调制频率、高功率的紫外LD光源。技术关键在于高速紫外LD开关 调制电路的研究，进而建立紫外LD开关调制模型，最终实现具体的高速紫外调制源。 在有源区引入消光波长在近紫外波段的贵金属纳米晶，通过表面等离子体共振能量转 移效应增强了LD器件的激光发射强度，并降低了载流子复合寿命，从而提高了LD器件 的光输出功率和调制重复频率。在输出端一侧的分布布拉格反射镜（DBR）上引入

MgZnO纳米线波导层，有效提高了LD器件的光萃取效率和外量子效率，进一步提高了 光输出功率。产品荣获第四届中国“互联网+”大学生创新创业大赛吉林赛区总决赛金 奖；第十八届中国科协年会全国科技工作者创新创业大赛吉林赛区总决赛铜奖。

主要技术指标

该紫外激光调制源为单模输出，激光谐振模线宽小于2nm，峰值波长为405nm，室 温连续泵浦激发下激光裸管输出功率达到180mW，配套光学系统后连续输出功率达到

70mW，调制重复频率达到100MHz，脉冲宽度20ns以内。

应用范围

高速调制的紫外光源在3D打印、精密加工、半导体制造和高密度存储等众多领域 拥有极为广阔的应用前景与市场空间。