一、成果名称：高功率高重频 266nm  紫外 DPL

二 、成果简介：

  本成果通过 1064nm 四倍频实现 266nm 紫外激光稳定输出，采用小信号注入主振荡功率放大技术（MOPA）与高频调 Q 技术相结合，经由外腔 KTP 晶体倍频、BBO 晶体四倍频实现高功率高重频 266nm 紫外激光稳定输出。

三、主要技术指标：

  平均输出功率: ≥4W；

  重复频率：1～20kHz 可控；

  脉冲宽度：≤20ns；

  输出激光束散角：≤3mrad。

四、应用范围：

  用于微电子领域激光加工。