欢迎您,
2021-01-15 8:30:00
技术类型:
行业分类:
技术成熟度:
交易方式:
交易价格:
成果简介
本成果通过1064nm四倍频实现266nm紫外激光稳定输出,采用小信号注入主振荡 功率放大技术(MOPA)与高频调Q技术相结合,经由外腔KTP晶体倍频、BBO晶体四 倍频实现高功率高重频266nm紫外激光稳定输出。
主要技术指标
平均输出功率:≥4W; 重复频率:1~20kHz可控; 脉冲宽度:≤20ns; 输出激光束散角:≤3mrad。
应用范围
用于微电子领域激光加工。
上一篇:基于半导体泵浦技术的2.94μm激光器
下一篇:高重复频率脉冲光纤激光器