欢迎您,

注册 登录
承办单位:长春市万众创业科技有限公司
在线对接
高功率高重频266nm紫外DPL

技术类型:

行业分类:

技术成熟度:

交易方式:

交易价格:

项目介绍

成果简介

本成果通过1064nm四倍频实现266nm紫外激光稳定输出,采用小信号注入主振荡 功率放大技术(MOPA)与高频调Q技术相结合,经由外腔KTP晶体倍频、BBO晶体四 倍频实现高功率高重频266nm紫外激光稳定输出。

主要技术指标

平均输出功率:≥4W; 重复频率:120kHz可控; 脉冲宽度:≤20ns; 输出激光束散角:≤3mrad

应用范围

用于微电子领域激光加工。