成果简介

本成果通过1064nm四倍频实现266nm紫外激光稳定输出，采用小信号注入主振荡 功率放大技术（MOPA）与高频调Q技术相结合，经由外腔KTP晶体倍频、BBO晶体四 倍频实现高功率高重频266nm紫外激光稳定输出。

主要技术指标

平均输出功率：≥4W； 重复频率：1～20kHz可控； 脉冲宽度：≤20ns； 输出激光束散角：≤3mrad。

应用范围

用于微电子领域激光加工。