一、成果名称：低噪声、高增益微通道板技术

二 、成果简介：

  微光夜视系统中核心器件微通道板普遍采用玻璃纤维拉制技术制造，随着性能要求不断提高和应用领域扩展（紫外成像探测等），传统玻璃微通道板器件难以满足要求。本成果针对四代微光像增强器对低噪声、高增益微通道板的技术需求，开展了硅微通道板电子倍增器技术研究。采用半导体刻蚀技术制备出高深宽比硅微通道板基体、采用厚层氧化技术完成基体绝缘化、采用原子层沉积技术制备了薄膜打拿极，在国内首次研制出硅微通道板电子倍增器样品。

三、主要技术指标：

  板面直径： Φ18mm；

  通道区域直径： Φ16；

  通道尺寸：8×8m；

  通道周期：10m；

  通道深宽比：＞40；  

  开口面积比：＞65%；

  通道偏置角：7°；

  体电阻：3×108Ω（1Pa，500V）；

  电子增益：500～800（700V）。

四、应用范围：

  研究成果可用于军用微光夜视及空间探测等领域。